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클린룸 오염제어 – 공기·습도 조건이 정전기 발생을 좌우한다

📑 목차

    1. 정전기와 환경 조건의 상관성이 핵심인 이유

    클린룸 오염제어에서 가장 간과되기 쉬운 요소는 환경 조건, 즉 공기 상태와 상대습도 관리다. 정전기는 이온화 장치나 작업자 보호장비로만 관리되어야 한다는 오해가 있으나, 근본적으로는 공기 중 수분량과 온도 변화에 의해 생성 메커니즘이 강화되거나 약화된다. 특히 반도체, 2차전지, 바이오 의약품, 식품 포장 등 파티클과 미생물 허용치가 극도로 낮은 클린룸에서는 정전기 한 번의 방전으로 수천 개의 이물 입자가 튀어 오염원으로 작용할 수 있다. 정전기에 의해 공기 중 부유입자 밀도가 급증하면 필터와 제어 장치가 정상 가동하더라도 공정 오염을 막기 어렵다. 따라서 공기 상태와 수분 함량을 정밀 제어하는 것은 장비나 보호구에 우선하는 기초 안정화 수단이다. 이런 이유로 클린룸 오염제어는 설계 초기부터 공조(HVAC), 유량 제어, 노점 설계, 방습재 구조와 직결된다.

    클린룸 공조 조건이 정전기 발생량을 좌우하는 원리를 설명하는 이미지

    2. 건조 환경에서 급증하는 정전기의 물리 원리

    정전기가 공기·습도 변화에 민감한 이유는 표면 전하의 이동 저항과 표면 수분막의 존재 때문이다. 상대습도가 낮으면 표면 전도성이 떨어지고, 인체·도구·포장재가 마찰될 때 물리적 전하 이동이 가속된다. 정전기 발생량은 상대습도 50~60% 구간에서는 급격히 억제되지만 30% 이하에서 폭발적으로 증가한다는 실험 결과가 다수 존재한다. 이와 같은 경향은 반도체 공정 클린룸, 제약 필터 충전라인, OLED·PCB 라미네이션 공정 등에서 동일하게 관측된다. 따라서 클린룸 오염제어의 핵심 중 하나는 미세한 상대습도 변동을 허용하지 않는 안정화 설계이며 이에는 냉각·재열·가습을 균일하게 유지하는 고정밀 공조가 필요하다. 습도 변동이 ±5%를 벗어나는 순간 정전기 단일 이벤트가 수천 배로 증가할 수 있음을 고려하면, 정전기 억제는 배기량 관리보다 우선순위가 높다고도 평가된다.

    3. 실제 클린룸 실패 사례에서 확인된 환경 조건의 영향

    실제 산업 현장에서는 습도 유지 실패가 생산량 손실로 직결되는 사례가 반복된다. 특정 제약 제조업체는 겨울철 외기 유입량이 증가하자 실내 습도가 28%까지 떨어졌고 그로 인해 포장 필름에 전하가 쌓여 포장지 입자가 접착면으로 전이되며 이물 검사 과정에서 대량 리젝트가 발생했다. 전자 패키징 업체에서는 바닥 접지와 이온화 장비를 모두 가동했음에도 불량률이 감소하지 않아 원인을 분석한 결과, 야간 시간대 공조 가습 모드가 자동 비활성화되며 상대습도가 25% 전후까지 낮아졌다는 사실이 확인되었다. 이 두 사례는 습도가 안정적으로 유지되지 않으면 어떤 제어 장치도 정전기 억제에 충분하지 않다는 진단을 가능하게 한다. 결론적으로 클린룸 오염제어에서 가습 안정성은 장비 설치보다 더 근본적인 운용 기준이며, 공조 파라미터의 연속 모니터링이 실효성을 좌우한다.

    4. 산업별 권장 공기·습도 조건 비교와 제어 전략

    산업별 최적 조건은 공정 특성에 따라 다르게 설계된다. 반도체와 디스플레이 산업은 공정별로 정전기 민감도가 극단적으로 높아 상대습도를 일반적으로 40~55% 범위에 유지하고 외기 흡입량과 필터 통과 후 수분 손실량을 계산해 가습 장치를 다단 구성한다. 제약 및 바이오 제조업은 미생물 제어까지 고려해야 하므로 너무 높은 습도는 곰팡이와 바이오필름 위험을 높이기 때문에 보통 45~60% 범위에서 최적점을 찾는다. 식품 및 일반 전기조립 클린룸은 정전기 민감도가 비교적 낮으나 포장재가 마찰성 소재일 경우 35% 이하에서 급격한 정전기 문제가 발생하므로 계절별 습도 상한·하한 설정을 전환 운영한다. 이처럼 클린룸 오염제어는 단일 정답이 아닌 공정별 조건 맵핑과 관리 목표치 설정이라는 체계적 접근이 필수이다.

    5. 공기 품질, 이온 균형, 여과 효율과 습도의 상호작용

    정전기는 단순히 ‘습도가 낮다 → 전하 증가’라는 단일 인자로 설명되지 않는다. 공기 중 이온 농도, 압력 차, 미립자 부유량, 필터 효율 저하 등 여러 요인이 중첩되어 나타난다. 예를 들어 HEPA 필터는 공기 중 미세입자를 제거하지만, 상대습도가 과도하게 낮으면 필터 표면의 대전 가능성이 커져 미세입자가 재비산할 위험성이 증가한다. 반대로 습도가 너무 높으면 필터 포화로 공기 저항이 상승해 공기 공급량이 감소하고 클린룸 등급 유지가 어려워진다. 또한 공기 중 양·음이온 균형은 표면 전위 분포에 영향을 미쳐 정전기 발생 임계값을 변화시킨다. 이 때문에 선진 제조시설은 공조, 가습, 이온 밸런싱 장치, 배기 조절을 단일 네트워크에 통합해 실시간 제어한다. 이와 같은 시스템 통합이 이뤄질 때 클린룸 오염제어는 단순한 전하 억제 수준에서 벗어나 공정 전체를 보호하는 환경 안정화 기술로 발전한다.

    6. 정전기 억제의 핵심은 설비가 아닌 공기 조건 유지

    정전기는 사람, 장비, 물질이 움직이는 한 반드시 발생한다. 그러나 정전기의 영향이 클린룸 오염과 생산 불량으로 이어지는지는 공기와 습도 조건에 달려 있다. 공기 조성, 상대습도, 여과 효율, 압력 차와 같은 환경 변수는 단독이 아니라 서로 연결된 시스템이며, 하나라도 균형이 무너지면 누적된 정전기가 순간적으로 방출되어 입자 확산을 촉발한다. 따라서 클린룸 오염제어를 장비 구매 중심이 아닌 환경 안정화 중심 관점으로 재구조화하는 것이 필수적이다. 앞으로는 IoT 기반 제습·가습 자동화, 예측 조기 경보, 공정별 습도 프로파일링 등 데이터 기반 공조 관리가 핵심 경쟁력이 될 것이다.

    7. 정전기 제어는 곧 공조 제어이며, 공조 제어는 곧 클린룸 오염제어다

    정전기는 눈에 보이지 않지만 공정 전반에 치명적인 영향을 미치며, 그 발생량과 지속 시간은 공기 조건, 즉 습도와 온도가 결정한다는 사실은 다양한 실험·표준 사례를 통해 확인되고 있다. 주어진 범위를 벗어난 습도는 정전기 축적을 급증시키고 온도 불균일은 공기 흐름을 교란하며 입자 재부착 위험을 높인다. 따라서 정전기 문제는 장비 개별 대응이 아니라 공조 조건 설계 단계부터 포함되는 클린룸 오염제어 전략의 한 부분으로 접근해야 한다.
    결국, 공기·습도 제어는 단순 환경 관리가 아니라 정전기 억제, 입자 부착 방지, 공정 품질 확보를 동시에 달성하는 핵심 수단이며, 이를 체계적으로 설계하고 운용할수록 클린룸은 장비 효율과 생산 수율 모두에서 장점을 확보할 수 있다. 즉, “정전기 제어는 곧 공조 제어이며, 공조 제어는 곧 클린룸 오염제어의 본질”이라는 명제가 확립된다.