클린룸 오염제어 - 클린룸 셧다운 기간에 반드시 해야 하는 점검

클린룸 셧다운(Shutdown) 기간에 반드시 해야 하는 점검: 재가동 품질을 좌우하는 핵심 관리 항목

클린룸 셧다운(Shutdown)은 설비 개선이나 공정 전환을 위해 불가피하게 발생하지만, 동시에 청정 환경이 가장 쉽게 붕괴되는 고위험 구간이기도 하다. 공조 정지, 인원·자재 유입 증가, 설비 분해 작업이 동시에 이루어지면서 오염 누적 가능성이 급격히 커진다. 따라서 셧다운 기간에는 단순한 설비 정비를 넘어, 재가동 시점의 청정도 안정성을 확보하기 위한 체계적인 점검 항목이 반드시 수행되어야 한다.

 

클린룸 오염제어 활동중 클린룸 셧다운 시 점검해야 하는 내용을 그림으로 표시

1. 셧다운 기간 클린룸 환경 변화와 기본 점검 항목

요약
● 공조 정지로 입자 침적 증가
● 차압 붕괴로 외부 오염 유입 가능
● 표면 오염 누적 위험 증가
● 재가동 전 초기 조건 복원이 핵심

클린룸 오염제어 시 셧다운 기간 동안 가장 큰 변화는 공기 흐름의 정지 또는 최소화다. 이로 인해 평상시에는 배출되던 미세 입자가 바닥, 장비 표면, 천장 구조물에 침적된다. 또한 차압 유지가 중단되면서 인접 공간의 공기가 클린룸 내부로 유입될 가능성도 높아진다.

기본 점검 항목으로는 셧다운 전후의 차압 상태, 공조 운전 조건, 출입 통제 상태 확인이 포함된다. 재가동 시에는 초기 운전 단계에서 충분한 공기 플러싱 시간을 확보해, 셧다운 기간 동안 축적된 입자를 제거해야 한다.

점검 항목	점검 목적	관리 포인트
차압 상태	오염 유입 확인	인접 구역 비교
공조 운전	기류 복원	단계적 가동
출입 기록	오염 추적	작업 이력 확인

2. 공조·필터 시스템 점검: 셧다운 후 성능 회복의 핵심

요약
● 필터 침적 입자 재비산 위험
● FFU·AHU 재가동 절차 중요
● 필터 차압 변화 확인 필수
● 필요 시 부분 교체 고려

클린룸 오염제어 시 셧다운 기간 동안 정지된 HEPA/ULPA 필터와 FFU는 재가동 시 축적된 입자가 재비산될 가능성이 있다. 따라서 재가동 전 필터 외관 점검과 전·후 차압 확인이 필요하며, 기준값 대비 이상 변화가 있을 경우 원인 분석이 선행되어야 한다.

공조 시스템은 단번에 최대 풍량으로 가동하기보다, 단계적으로 풍량을 증가시키는 방식이 권장된다. 이는 필터 손상과 입자 재비산을 동시에 예방하는 데 효과적이다.

점검 항목	확인 내용	조치 기준
필터 HEPA/ULPA	기준 대비 변화	과도 시 교체
FFU 상태	진동·소음	이상 시 정비
풍량 복원	설계값 도달	단계적 조정

3. 설비·배관·덕트 내부 오염 점검

요약
● 정지 설비 내부 오염 축적
● 배관·덕트 침적물 확인 필요
● 결로 발생 여부 중요
● 국소 청소 계획 수립

클린룸 오염제어 셧다운 동안 장비가 장시간 정지되면 설비 내부와 배관, 덕트에 미세 입자와 오염물이 축적될 수 있다. 특히 배관 내부의 결로나 덕트 저점부에 침적된 입자는 재가동 시 공기 흐름에 의해 클린룸 전반으로 확산될 위험이 있다.

따라서 재가동 전에는 주요 설비 내부, 개방 작업이 있었던 배관 구간, 덕트 접근부를 중심으로 점검이 이루어져야 한다. 필요 시 국소적인 청소 또는 플러싱 작업이 병행되어야 한다.

점검 대상	주요 위험	관리 전략
공정 설비	내부 분진	내부 청소
배관	결로·침적	건조·플러싱
덕트	저점 침적	점검 포트 활용

4. 작업자·자재 출입 관리 및 오염 통제 점검

요약
● 셧다운 기간 출입 빈도 증가
● 비표준 작업복 사용 위험
● 자재 반입 오염 관리 필요
● 재가동 전 통제 복원 필수

클린룸 오염제어 셧다운 기간에는 유지보수 인력, 외주 인원, 대형 자재 반입 등으로 인해 평상시보다 출입 빈도가 크게 증가한다. 이 과정에서 가운 절차 미준수, 임시 출입 통제 완화가 발생하면 오염 누적 위험이 높아진다.

재가동 전에는 출입 통제 시스템, 에어샤워, 가운룸 상태를 정상 운영 조건으로 복원하고, 셧다운 기간 동안 사용된 자재와 공구의 반출·청소 여부를 반드시 확인해야 한다.

관리 항목	점검 내용	관리 목적
출입 기록	인원·시간	오염 추적
가운 설비	상태·청결	기준 복원
자재	잔존 여부	오염 제거

5. 재가동 전 검증과 셧다운 점검의 종합 관리 전략

요약
● 재가동 전 검증 필수
● 입자·차압 데이터 확인
● 셧다운 이력과 연계 분석
● SOP 반영으로 재발 방지

클린룸 오염제어 셧다운 이후 재가동 시에는 단순히 설비를 켜는 것으로 충분하지 않다. 입자 계수, 차압, 온·습도 등 핵심 환경 지표가 설계 기준을 만족하는지 확인하는 검증 절차가 필요하다. 특히 셧다운 기간 중 수행된 작업 이력과 환경 데이터는 함께 분석되어야 한다.

점검 결과는 운영 SOP와 유지보수 계획에 반영해, 다음 셧다운 시 동일한 문제가 반복되지 않도록 관리 체계를 개선해야 한다. 이러한 순환적 관리가 이루어질 때 셧다운은 위험 요소가 아니라 클린룸 품질을 한 단계 끌어올리는 관리 기회로 작용한다.

관리 단계	핵심 활동	기대 효과
재가동 전	환경 검증	초기 안정화
데이터 분석	이력 비교	원인 파악
절차 개선	SOP 업데이트	재발 방지

클린룸 셧다운 기간 점검은 단기적인 설비 관리가 아니라, 재가동 이후 장기간의 청정도 안정성을 좌우하는 결정적 단계다. 체계적인 점검과 기록 관리가 클린룸 운영 신뢰성을 지속적으로 유지하는 기반이 된다.

 

6. 클린룸 Shutdown 이후 정상 복구를 확인하는 방법

클린룸은 셧다운 후 공조·입자·장비 상태가 규격으로 복귀하고, 지속 모니터링에서 기준 유지가 확인될 때 정상 가동 가능하다.

셧다운 후 재가동 시 클린룸은 기계적 가동 → 공조 정상화 → 입자 안정화 → 공정 복귀 → 모니터링 검증 순서로 단계적으로 회복됩니다. 다음 항목이 모두 충족될 때 “정상 복구 완료”로 판단할 수 있습니다.

 

① HVAC/공조 시스템 안정화

• 온도·습도·차압 설정값(SP) 도달 여부 확인
• AHU 공급풍량 및 Return → Exhaust 밸런스 정상 여부
• 공조 제어 루프 PID 안정화

판단 기준 예시

• 온도 ±1°C 이내
• 상대습도 ±5%RH 이내
• 차압 Class 간 최소 5~15 Pa 유지

② 입자 농도 안정 및 ISO/GMP 규격 준수

• 셧다운 이후 초기 가동 시 파티클이 급증하는 것이 정상
• 일정 시간 흐린 후 ISO Class 또는 GMP Grade 기준과 비교

판단 방법

1. Portable Counter 또는 Fixed Sensor 측정
2. 0.5μm, 5.0μm 표준 값 안정 여부
3. 시간 트렌드 최소 3~5포인트 관찰

③ 기류 패턴 안정성 확인

• 층류(LAF) 장비 정상 속도 도달 (예: 0.36–0.54 m/s)
• 난류 구역 Air Change Rate(ACR) 정상 회복 (≥20 ACH 등 설계 기준)
• 연기/스트림 테스트로 Dead Zone 제거 여부 확인

④ 필터 및 시스템 무결성 확인

• HEPA/ULPA 필터 설치면 풍량 불균형 확인
• 필요 시 국소 PAO 스캔(제약) 또는 질량풍량 확인(반도체)
• 팬/댐퍼/밸브 초기 설정 복구 여부

⑤ 미생물 조건(제약만 해당)

• 낙하균/부유균 샘플링
• 접촉배지 표면 오염 확인
• 배양 결과 0 CFU 또는 기준 이하 확인

미생물 검증은 결과가 나올 때까지 2~5일 필요
따라서 바이오 GMP는 “임시 가동 → 조건 성립 확인 → 본격 생산” 구조

 

⑥ SOP 기반 재가동 체크리스트 검증

• 공조 알람·밸브 개도·인버터 상태 점검
• 제조 장비 Warm-up 완료
• 공정 케미컬 순환 및 배관 퍼지(Purge) 완료
• 오염물 반입 금지 시간 준수

클린룸 정상화에 걸리는 시간(일반 기준)

산업 분야초기 안정화 (입자/공조)완전 생산 복귀

일반 전자/디스플레이	1~3시간	반일~1일
반도체 ISO 1~5급	4~12시간	1~2일
제약 GMP Grade B~D	4~24시간	2~5일(미생물 결과 포함)
무균 생산 Grade A Zone	6~24시간	최대 7일(Media Fill 포함 가능)

핵심 결론 요약

🔹 셧다운 후 클린룸은 공조 안정 → 입자 회복 → 장비 Warm-up → 검증 단계를 거쳐 정상 복구
🔹 온도·습도·차압이 먼저 안정되고, 그 뒤 입자 농도가 기준에 수렴
🔹 반도체는 입자 수 안정되면 비교적 빨리 생산 가능
🔹 제약은 미생물 검증 때문에 시간이 더 길다
🔹 산업별 복구 시간은 수 시간 ~ 수일까지 달라짐