클린룸 오염제어- 오염제어의 원리: 입자·미생물·분자오염
1. 클린룸 오염제어의 종류와 특성 이해 (입자오염, 미생물오염, 분자오염)클린룸을 운영하는 데 있어서 가장 중요한 것은 어떤 오염원이 존재하는지 정확히 이해하는 것이다. 오염원은 크게 세 가지 범주로 나뉘며, 각각의 특성·발생원·제어기술이 완전히 다르다.첫 번째 오염원은 입자(Particle) 오염이다. 이는 먼지, 연기, 금속 파편, 사람의 각질, 설비 마모 가루 등 모든 형태의 고체 입자를 포함한다. 반도체나 디스플레이 공정에서는 0.1μm 이하의 극미세 입자도 회로 단절·공정 결함을 유발하기 때문에 가장 민감하게 관리된다. 입자 오염은 공기 흐름, 인간 활동, 설비 진동, 자재 이동 등에서 쉽게 발생하며, 전체 오염원의 70% 이상을 차지한다.두 번째는 미생물(Microbial) 오염이다. 세균,..